年度	2012
全部作者	李安謙,An-Chen Lee, Tzu-Wei Kuo and Shang-Wei Chiang
論文名稱	Run-to-Run Mixed Product Overlay Process Control: Using Tool Based Disturbance Estimator (TBDE) Approach
會議名稱	International Conference on Mechanical, Industrial, and Manufacturing Technologies-MIMT 2012
地點	Shenzhen, China
會議期間	2012/03/24-25
語言	中文