年度 | 2010 |
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全部作者 | 吳宗信,C.-T. Hung, M.-H. Hu, Y.-M. Chiu and J.-S. Wu* |
論文名稱 | Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Amorphous Silicon (a-Si) Thin Film Growth Using Parallel Fluid Modeling |
會議名稱 | 7th International Conference on Flow Dynamics |
地點 | Sendai, Japan |
會議期間 | 2010/11/01-10/03 |