年度 | 2011 |
---|---|
全部作者 | 吳宗信,C.-T. Hung, K.-M. Lin, Y.-M. Chiu, F.-N. Hwang, and J.-S. Wu* |
論文名稱 | Parallel Fluid Modeling of Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for Amorphous Silicon (a-Si) Thin Film Growth |
會議名稱 | 18th Computational Fluid Dynamics Conference in Taiwan |
地點 | Yilan, Taiwan |
會議期間 | 2011/08/03-05 |