年度 | 2011 |
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全部作者 | 吳宗信,Chieh-Tsan Hung, Kun-Mo Lin, Jong-Shinn Wu* and Jen-Perng Yu |
論文名稱 | Parallel Fluid Modeling of Large-Area Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Amorphous Silicon Thin Film |
會議名稱 | 8th International Conference on Flow Dynamics |
地點 | Sendai, Japan |
會議期間 | 2011/11/09 ~ 2013/11/11 |