年度	2011
全部作者	李安謙,An-Chen Lee*, Tzu-Wei Kuo and Zeng-Lien Lee
論文名稱	Modified Double EWMA Approach for Mixed Product Run-to-Run CMP Process Control
會議名稱	International Conference on Advanced Design and Manufacturing Engineering-ADME 2011
地點	Guangzhou, China
會議期間	2011/09/16-18
語言	中文