年度	2012
全部作者	徐文祥,Lin, Y. H., Weng, C. J., Su, C. Y. Su, Hsu, W.
論文名稱	Fabrication of Deep Lateral Single-Crystal-Silicon Blaze Micro-grating by Inductively-Coupled-Plasma Reactive Ion Etch,
會議名稱	IEEE-NEMS 2012
地點	Kyoto, Japan
會議期間	2012/03/05-08