年度	2014
全部作者	李安謙/An-Chen Lee
論文名稱	Robustness Analysis of Mixed Product Run-to-Run Control for Semiconductor Process based on ODOB Control Structure
期刊名稱	IEEE Transaction on Semiconductor Manufacturing
卷數	27
期數	2
頁碼	212-222
期刊等級	SCI
發表日期	2014-05-01
ISSN(ISBN)	0894-6507
語言	英文