年度	2010
全部作者	吳宗信,Che-Wei Hsu, Tsung-Chieh Cheng, Wen-Hsien Huang, J.-S. Wu*, Cheng-Chih Cheng, Kai-Wen Cheng, Shih-Chiang Huang
論文名稱	Relation between the plasma characteristics and physical properties of functional zinc oxide thin film prepared by RF sputtering process
期刊名稱	Thin Solid Films
卷數	Vol. 518
頁碼	1953-1957
期刊等級	SCI
發表日期	2010-02-01
語言	英文
參考連結	http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2009.07.181