年度	2010
全部作者	呂宗熙(2016年退休）,Pan, S. P. and Liu, Tzong-Shi
論文名稱	Precision Measurement of Sub 50 nm Linewidth by Stitching Double-tilt Images
期刊名稱	Japanese Journal of Applied Physics
卷數	Vol. 49
期數	No.6
語言	英文