年度	2012
全部作者	徐文祥,Lin, Y.-H. and Hsu, W.
論文名稱	Polymer as the protecting passivation layer in fabricating suspended SCS structures at both anisotropic and isotropic etching
期刊名稱	J. Micromech. Microeng.
期數	22
期刊等級	SCI,EI
發表日期	2012-03-01
語言	英文