年度	2011
全部作者	李安謙,A. C. Lee, Y. R. Pan and M. T. Hsieh
論文名稱	Output disturbance observer structure applied to Run-to-Run control for semiconductor manufacturing
期刊名稱	IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
卷數	24
期數	1
頁碼	27-43
期刊等級	SCI
發表日期	2011-02-01
語言	英文