年度	2006
全部作者	徐文祥,Li-Nuan Tsai, Yu-Ting Cheng, Wensyang Hsu, and Weileun Fang
論文名稱	Ni-CNTs Nanocomposite for Robust MEMS Fabrication
期刊名稱	J. Vac. Sci. Tech. B.
卷數	24
頁碼	205-210
期刊等級	SCI,EI
總頁數	6
語言	中文