年度	2011
全部作者	李安謙,An-Chen Lee*, Tzu-Wei Kuo and Zeng-Lien Lee
作者類別	First Author,Corresponding Author
論文名稱	Modified Double EWMA Approach for Mixed Product Run-to-Run CMP Process Control
期刊名稱	Advanced Materials Research
卷數	314-316
頁碼	2504-2511
期刊等級	EI
發表日期	2011-08-01
語言	英文
參考連結	http://www.scientific.net/AMR.314-316.2504