年度	2008
全部作者	徐文祥,Chung, J.W. and Hsu, W.
論文名稱	Fabrication of a polymer-based torsional vertical comb drive using a double-side partial exposure method
期刊名稱	J. Micromech. Microeng.
卷數	18
期數	3
期刊等級	SCI,EI
語言	英文