年度 2008
全部作者 徐文祥,Cheng, P.L., Liao, C.I., Chien, C.C., Yang, C.L., Ting, S.F., Jeng, L.S., Huang, C.T., Cheng, Osbert, Tzou, S.F., and Hsu, W.
論文名稱 Effectiveness of Si thin buffer layer for selective SiGe epitaxial growth in recessed source and drain for pMOS
期刊名稱 Materials Chemistry and Physics
卷數 107
期數 2-3
頁碼 471-475
期刊等級 SCI
總頁數 5
語言 英文