年度	2012
全部作者	李安謙,An-Chen Lee, Tzu-Wei Kuo and Chung-Ting Ma
作者類別	First Author,Corresponding Author
論文名稱	Combined Product and Tool Disturbance Estimator for the Mix-Product Process and its Application to the Removal Rate Estimation in CMP Process
期刊名稱	International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
卷數	13
期數	4
頁碼	471-481
期刊等級	SCI
發表日期	2012-04-01
語言	英文