年度	2014
全部作者	徐文祥,Huang, Y.-T., Chen, H.-L., and Hsu, W.
論文名稱	An Analytical Model for Calculating the Pull-in Voltage of Micro Cantilever Beams Subjected to Tilted and Curled Effects
期刊名稱	Microelectronic Engineering
卷數	125
頁碼	73-77
語言	英文