年度	2008
全部作者	李安謙,Chien-Feng Wu, Chih-Ming Hung, Juhn-Horng Chen , An-Chen Lee
論文名稱	Advanced Process Control of the Critical Dimension in Photolithography
期刊名稱	Int. J. of Precision Engineering and Manufacturing
卷數	9
期數	1
頁碼	12-18
期刊等級	SCI
發表日期	2008-01-01
語言	英文