年度	2006
全部作者	徐文祥,Hung-Lung Hsu, Yu-Ru Chang, Yi Chiu, Yu-Hsin Lin and Wensyang Hsu
論文名稱	A self-aligned process between the nano-aperture and solid immersion lens
期刊名稱	Journal of Micromechanics and Microengineering
卷數	16
頁碼	2632-2638
期刊等級	SCI,EI
總頁數	7
語言	中文