年度	2011
計畫類別	研究計畫
計畫名稱	以高分子作為感應偶合電漿反應離子蝕刻側壁保護層以製作單晶矽懸浮微結構之快速製程平台研發
參與人	徐文祥
職稱/擔任之工作	計劃主持人
計畫期間	2011.01 ~ 2012.01
補助/委託或合作機構	行政院國家科學委員會
記事	{"en"=>nil, "zh_tw"=>nil}
語言	中文