年度	2021
全部作者	鍾添淦
論文名稱	Sensitivity improvement of magnetic-piezoelectric three-axis MEMS AC magnetic field sensor by thinning moveable-structure of the sensor
會議名稱	2021 International Conference on Smart Sensors (ICSS2021)
地點	Taipei, Taiwan
論文類型	會議論文
主辦單位	Nanotechnology & Microsystem Association, Taiwan
著作人數	4
語言	英文