年度	2012
全部作者	吳宗信,Y.-M. Chiu, C.-T. Hung and J.-S. Wu*
論文名稱	Parallel fluid modeling of a dome- shape inductively coupled plasma reactor with fluorocarbon precusor
會議名稱	39th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2012)
地點	Edinburgh, Scotland, UK
會議期間	2012/07/08-12