年度	2011
全部作者	吳宗信,Y.-M. Chiu, C.-T. Hung, J.-S. Wu*, F.-N. Hwang
論文名稱	Parallel Fluid Modeling of Silane Gas Discharge in an Inductively Coupled Plasma Source
會議名稱	18th Computational Fluid Dynamics Conference in Taiwan
地點	Yilan, Taiwan
會議期間	2011/08/03-07/05