年度	2006
全部作者	徐文祥,Yang, Chia-Yeh, Cheng, Y. T., and Hsu, W.
論文名稱	Nano-Roughening for Reliable N/MEMS Manufacture
會議名稱	IEEE-NEMS 2006
地點	Zhuhai, China
會議期間	2006/01/18-21