年度	2012
全部作者	劉耀先,Tseng, L.W., Wang, C.S., Liu, Y.H., Wang, C.C., Huang, C.Y., Chen, C.C., Lin, K.L.
論文名稱	Investigation of Substrate Rotation on the Flow Field in a Chemical Vapor Deposition Chamber Using Particle Image Velocimetry
會議名稱	24th International Cryogenic Engineering Conference
地點	Fukuoka, Japan
會議期間	2012/05/14-18