年度	2015
全部作者	蔡佳宏/C. D. Tsai* and M. Kaneko
論文名稱	Frequency Responses of On-Chip Pressure Sensor with Different Deformation Chambers
會議名稱	The 26th International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science （MHS2015）
會議期間	2015/11/01
論文類型	會議論文,口頭報告
作者類別	First Author,Corresponding Author
發表日期	2017-01-01
語言	英文