年度 | 2013 |
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全部作者 | 劉耀先,Lai, K.F., Liu, Y.H., Huang, C.H., and Wang, C.C. |
論文名稱 | Flow Patterns in a Multiple Impinging Jets CVD Reactor with a Rotating Substrate |
會議名稱 | The 19th American Conference on Crystal Growth and Epitaxy |
地點 | Keystone, Colorado, USA |
會議期間 | 2013/07/21-26 |
論文類型 | 壁報論文,海報展示 |
作者類別 | Corresponding Author |
著作人數 | 4 |
語言 | 英文 |