年度 | 2007 |
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全部作者 | 吳宗信,H.M. Cave, J.-C. Huang, J.-S. Wu, S.P. Krumdieck, K.-C. Tseng, M.C. Jermy, M. Lebedev, K.-W. Cheng and Y.-S. Chen |
論文名稱 | Flow Field Modelling of Pulsed Pressure Chemical Vapour Deposition |
會議名稱 | Sixteenth European Conference on Chemical Vapor Deposition |
地點 | Den Haag (Scheveningen), The Netherlands |
會議期間 | 2007/09/16-21 |