年度	2008
全部作者	徐文祥,Chung, Junwei, Lee, Y.C. and Hsu, W.
論文名稱	Fabrication of polymer-based vertical comb drive using a double-side multiple partial exposure method,
會議名稱	2008 IEEE MEMS Conference
地點	Tucson, USA.
會議期間	2008/01/13-17