年度	2017
全部作者	傅本然,B.R. Fu*, T. Lin, C.K. Chang, S.C. Hu*, I.Y. Cheng
論文名稱	Energy-saving assessment for high-tech fabs: An “FES” application
會議名稱	2017 Global Conference on Engineering and Applied Science
地點	Okinawa, Japan
論文類型	會議論文
語言	英文