年度	2014
全部作者	洪紹剛/Hung-Ruei Lin; Shao-Kang Hung; Chiao-Hua Cheng
論文名稱	Design and analysis of a 2-DOF planar nano-positioner with low parasitic rotation
會議名稱	Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale （3M-NANO）
會議期間	2014/10/27-31
發表日期	2014-10-31
語言	英文