年度	2019
全部作者	鍾添淦,Hao Duan, and Tien-Kan Chung*
論文名稱	A Novel Cross-Linked Cantilever Based Piezoelectric Three-Axis MEMS Magnetic Sensor Fabricated By Multiple Wet Etching Processes (Open Poster)
會議名稱	32nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS)
地點	Seoul, Korea
會議期間	2019/01/27-31
論文類型	壁報論文,海報展示
論文等級	EI
主辦單位	IEEE
作者類別	Corresponding Author
著作人數	2
發表日期	2019-01-30
語言	英文