年度 | 2000 |
---|---|
全部作者 | 陳宗麟/T. Chen and R. Horowitz |
論文名稱 | "Design and Fabrication of PZT-Actuated Silicon Suspensions," |
會議名稱 | IEEE Mechatronics |
地點 | Atlanta, Georgia |
會議期間 | 2000/09/06-08 |
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年度 | 2000 |
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全部作者 | 陳宗麟/T. Chen and R. Horowitz |
論文名稱 | "Design and Fabrication of PZT-Actuated Silicon Suspensions," |
會議名稱 | IEEE Mechatronics |
地點 | Atlanta, Georgia |
會議期間 | 2000/09/06-08 |