年度 | 2010 |
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全部作者 | 吳宗信,S.-Y. Jou, C.-T. Hung, Y.-M. Chiu, J.-S. Wu*, B.-Y. Wei |
論文名稱 | Simulation of Excimer Ultraviolet (EUV) Emission from a Coaxial Xenon Excimer Ultraviolet Lamp Driven by Distorted Bipolar Square Voltages |
期刊名稱 | Plasma Chemistry and Plasma Processing |
卷數 | Vol. 30 |
頁碼 | 907-931 |
期刊等級 | SCI |
語言 | 英文 |
參考連結 | http://dx.doi.org/10.1007/s11090-010-9254-3 |