年度	2021
全部作者	鍾添淦,Sung-Lin Tsai (本人指導之交大-東京工業大學雙聯碩士學生), Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, Kazuo Tsutsui, Tien-Kan Chung, Edward Y. Chang, Kuniyuki Kakushima*
論文名稱	Room-Temperature Deposition of a Poling-Free Ferroelectric AlScN Film by Reactive Sputtering
期刊名稱	Applied Physics Letters (RF: 37/155=23.87%, Physics, Applied, IF: 3.597)
卷數	8
期數	118
頁碼	082902-
期刊等級	SCI
總頁數	4
發表日期	2021-02-25
語言	英文