年度 2018
全部作者 傅本然,T. Lin, B.R. Fu*, S.C. Hu*, Y.H. Tang
論文名稱 Moisture prevention in a pre-purged front-opening unified pod (FOUP) during door opening in a mini-environment
期刊名稱 IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
期刊等級 SCI
語言 英文