年度 | 2001 |
---|---|
全部作者 | 崔燕勇(2019年退休),Y. Y. Tsui, C. P. Kung and H. P. Cheng |
論文名稱 | Modelingof the Slip Flow in the Spiral Grooves of a MolecularPump |
期刊名稱 | J. Vac. Sci. Technol. A |
卷數 | Vol. 19 |
期數 | No.6, |
頁碼 | 2785-2790 |
語言 | 英文 |
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年度 | 2001 |
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全部作者 | 崔燕勇(2019年退休),Y. Y. Tsui, C. P. Kung and H. P. Cheng |
論文名稱 | Modelingof the Slip Flow in the Spiral Grooves of a MolecularPump |
期刊名稱 | J. Vac. Sci. Technol. A |
卷數 | Vol. 19 |
期數 | No.6, |
頁碼 | 2785-2790 |
語言 | 英文 |