年度	2017
全部作者	劉耀先,Liu, Y.H., Peng, G.J., Lai, W.C., Huang, C.Y., Liang, J.H.
作者類別	First Author,Corresponding Author
論文名稱	Flow Field Investigation in a Rotating Disk Chemical Vapor Deposition Chamber with a Perforated Showerhead
期刊名稱	Experimental Thermal and Fluid Science
卷數	88
頁碼	389-399
期刊等級	SCI
發表日期	2017-11-01
語言	英文