年度	2014
全部作者	徐文祥,Huang, Y.-T and Hsu, W.
論文名稱	Fabricating embedded SU-8 microstructures with asymmetric inside cross section by double-side multiple partial exposure method
期刊名稱	Microelectronic Engineering
卷數	121
頁碼	64-67
語言	英文