年度	2016
全部作者	傅本然,S.C. Hu*, Z.Y. Huang, B.R. Fu*
作者類別	Corresponding Author
論文名稱	Experimental study on the moisture removal of a 450-mm FOUP during the purge or vacuum process
期刊名稱	Applied Thermal Engineering
期刊等級	SCI
語言	英文