年度	2011
全部作者	陳宗麟/C. -Y. Tsai and T. - L. Chen
論文名稱	Design, fabrication, and calibration of a novel MEMS logic gate
期刊名稱	J. Micromech. Microeng
卷數	Vol. 20
期數	No. 9
頁碼	095021-
發表日期	2011-01-01
語言	中文