年度	2015
全部作者	洪紹剛,Shao-Kang Hung, Chiao-Hua Cheng, Cheng-Lung Chen
論文名稱	Automatic-Patterned Sapphire Substrate Nanometrology Using Atomic Force Microscope
期刊名稱	IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY
卷數	14
期數	2
發表日期	2015-03-01
語言	英文