年度 2011
全部作者 鍾添淦,Feng Zhang, Ya-Chuan Perng, Ju H. Choi, Tao Wu, Tien-Kan Chung, Gregory P. Carman, Christopher Locke, Sylvia Thomas, Stephen E. Saddow, and Jane P. Chang*
論文名稱 Atomic layer deposition of Pb(Zr,Ti)Ox on 4H-SiC for metal-ferroelectric-insulator-semiconductor diodes
期刊名稱 Journal of Applied Physics (RF: 59/148=39.9%, Physics, Applied, IF: 2.068)
卷數 109
期數 12
頁碼 124109-
期刊等級 SCI
發表日期 2011-06-23
語言 英文
參考連結 http://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/1.3596574