年度 2005
全部作者 徐瑞坤(2016年退休),K. L. Ou,S.Y. Shiou,Ray-Quen Hsu
論文名稱 “Barrier capability of Hf-N Films with Various Nitrogen Concentrations Against Copper Diffusion in Cu/Hf-N/n + -p Junction Diodes ”
期刊名稱 Journal of The Electrochemical Society
卷數 Vol.152(2)
頁碼 1-6
語言 中文