專利名稱	Method of manufacturing a MEMS device
專利編號	8763220
專利國別	中華民國
發表日期	2014/07/20
年度	2014
著作人	Tien-Kan Chung, Chung-Hsien Lin, Yao-Te Huang, Chia-Hua Chu, Chia-Ming Hung, Wen-Chuan Tai, Chang-Yi Yang
語言	英文