年度	2011
計畫類別	研究計畫
計畫名稱	多晶矽晶圓暗裂的非破壞評估及檢測：改良式超音波共振法
參與人	尹慶中
職稱/擔任之工作	主持人
計畫期間	2011.08 ~ 2012.07
補助/委託或合作機構	國科會
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語言	中文