年度	2012
計畫類別	研究計畫
計畫名稱	60MHz化學氣相沈積之真空鍍膜腔體電漿場分析與參數設計
參與人	吳宗信
職稱/擔任之工作	主持人
計畫期間	2012.03 ~ 2012.08
補助/委託或合作機構	財團法人金屬工業研究發展中心
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語言	中文