年度	2011
計畫類別	研究計畫
計畫名稱	高密度電漿輔助薄膜沉積模擬與量測分析研究
參與人	吳宗信
職稱/擔任之工作	主持人
計畫期間	2011.04 ~ 2011.11
補助/委託或合作機構	工研院
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語言	中文