年度	2012
計畫類別	產學與國際合作
計畫名稱	Evaluations and Developments of VHF-CCP Plasma Simulator
參與人	吳宗信
職稱/擔任之工作	主持人
計畫期間	2012.02 ~ 2012.05
補助/委託或合作機構	TOKYO ELECTRON LIMITED
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語言	中文