年度 2016
計畫類別 研究計畫
計畫名稱 大面積光刻製程用之全反射軟性光罩設計
參與人 洪紹剛
職稱/擔任之工作 主持人
計畫期間 2016.08 ~ 2017.07
補助/委託或合作機構 科技部
語言 英文